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VT6000共聚焦表面粗糙度多功能測量顯微鏡主要應用于半導體、光學膜材、顯示行業、超精密加工等諸多領域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數的檢測中。

VT6000共聚焦光學類測量顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000共聚焦三維成像分析測量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數。

VT6000三維光學輪廓共聚焦材料顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。測量表面物理形貌，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌、2D的縱深形貌、輪廓（縱深、寬度、曲率、角度）、表面粗糙度等。

VT6000材料光學共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像，從而進行分析。

VT6000材料性能表征共聚焦測量顯微鏡基于光學共軛共焦原理，以轉盤共聚焦光學系統為基礎，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像.