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中圖儀器SuperView W系列0.1nm形貌重復(fù)性白光干涉儀一鍵完成單/多區(qū)域自動測量、批量分析，編程測量功能可預(yù)設(shè)流程實(shí)現(xiàn)一鍵操作，單個精細(xì)器件測量用時短，大幅提升檢測 throughput。

中圖儀器CEM3000系列納米形貌觀測掃描電鏡以“空間適配+性能強(qiáng)+易用高效“三大核心優(yōu)勢，成為你的檢測增效利器。它操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入，自動導(dǎo)航和一鍵出圖能力（自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度）幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像，大大提升了使用效率。

NS系列納米臺階高度測量儀應(yīng)用場景適應(yīng)性強(qiáng)，其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，可測量沉積薄膜的臺階高度、抗蝕劑（軟膜材料）的臺階高度等。

VT6000輪廓尺寸檢測共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

CEM3000系列100Pa倉內(nèi)真空度掃描電鏡操作系統(tǒng)簡便，使用過程簡單快捷。具有高度的靈活性和豐富的功能，包括多種檢測器、附件，可以滿足廣泛的研究和工業(yè)需求，包括半導(dǎo)體芯片失效分析。

NS系列納米級薄膜臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細(xì)運(yùn)動控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性。