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當前位置:首頁產(chǎn)品中心顯微測量儀掃描電鏡CEM3000臺式SEM掃描電鏡
臺式SEM掃描電鏡

產(chǎn)品簡介

中圖儀器的CEM3000臺式SEM掃描電鏡的框架尺寸還有所縮小,具有更高的易用性,要堅固耐用得多。它具有高度的靈活性和豐富的功能,包括多種檢測器、附件,可以滿足廣泛的研究和工業(yè)需求,包括半導體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導電性如何,掃描電鏡都可以讓您輕松應對挑戰(zhàn),獲得出色的SEM圖像和SEM分析結(jié)果。

產(chǎn)品型號:CEM3000
更新時間:2025-10-15
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:130
詳細介紹在線留言

掃描電鏡是眾多不同研究領(lǐng)域中的一個關(guān)鍵工具,范圍覆蓋從材料科學、工業(yè)生產(chǎn)甚至生命科學領(lǐng)域所涉及的一切內(nèi)容。只要需要關(guān)于樣品表面或近表面區(qū)域的形貌、成分和結(jié)構(gòu)信息,掃描電鏡分析都是必要的步驟,SEM掃描電鏡也就成為必要的工具。

傳統(tǒng)的落地式SEM掃描電鏡儀器可能需要一個專門的房間或設(shè)施,而中圖儀器的CEM3000臺式掃描電鏡儀器的框架尺寸還有所縮小,具有更高的易用性,要堅固耐用得多。

臺式SEM掃描電鏡

中圖儀器臺式SEM掃描電鏡是一款用于對樣品進行微觀尺度形貌觀測和分析的緊湊型設(shè)備。憑借空間分辨率出色和易用性強,用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下,無需過多人工調(diào)節(jié),便可一鍵得到理想的拍攝圖片。CEM3000臺式掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。

此外,該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。即便在一些常規(guī)電鏡難以耐受的工作環(huán)境中,該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術(shù),展現(xiàn)出色的性能。

臺式SEM掃描電鏡


操作系統(tǒng)簡便,使用過程簡單快捷。樣品一鍵裝入,自動導航和一鍵出圖能力(自動聚焦+自動消像散+自動亮度對比度)幫助用戶在短短幾十秒內(nèi)就可獲取高清圖像,大大提升了使用效率。具有高度的靈活性和豐富的功能,包括多種檢測器、附件,可以滿足廣泛的研究和工業(yè)需求,包括半導體芯片失效分析。無論樣品尺寸、重量、導電性如何,掃描電鏡都可以讓您輕松應對挑戰(zhàn),獲得出色的SEM圖像和SEM分析結(jié)果。


產(chǎn)品功能

1)臺式電鏡緊湊的外型,能夠不受場地尺寸制約,真正做到了空間適用性,用戶甚至可以將其就近擺放在自己的桌面上。同時CEM3000也能根據(jù)用戶需求,輕松移機,一臺機器多處開花;

2)高分辨率,能夠?qū)ξ⒊叽缣卣鬟M行觀測分析,滿足用戶的觀測需求;

3)快速抽放氣,憑借真空系統(tǒng)設(shè)計,該系列臺式電鏡縮短了用戶抽放氣的等待時間;

4)高易用性,能夠快速成像、一鍵出片,用戶使用自動調(diào)節(jié)功能,無需過多人工操作,就可得到高質(zhì)量拍攝圖片;

5)大樣品倉,CEM3000A在保證較小外型尺寸同時,具有比肩立式電鏡的大倉室,從而容納更大尺寸樣品;

6)高抗振防磁性能,全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B使用本公司技術(shù),基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度;

7)可選配低真空模式,保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度,進而對不同類型的樣品進行觀測;

8)能夠提供多種成像參數(shù)供用戶選擇,滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求;

9)搭配有多種探頭,能夠?qū)悠愤M行多種手段的分析。


機型選擇

CEM3000全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力,特別是CEM3000B基于復合抗振手段,將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡,不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業(yè)應用能力,而且操作靈活和成像質(zhì)量可靠,在現(xiàn)代制造業(yè)中為用戶帶來突破性的檢測解決方案:

臺式SEM掃描電鏡

CEM3000A(大樣品倉型):70mm×70mm樣品倉,兼容大尺寸或多樣品批量分析。

CEM3000B(抗振型):專為振動環(huán)境設(shè)計,抽氣更快(低真空僅40秒),成像更穩(wěn)定。


應用領(lǐng)域

外型緊湊,空間適用性強,整機采用大量的抗干擾設(shè)計,避免使用環(huán)境造成的影響,拓寬了應用范圍。同時,該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能,能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測,具有高空間分辨率。

用戶可在臺式SEM掃描電鏡上搭配不同的探頭,同時接收多種信號,對樣品進行分析。

臺式SEM掃描電鏡

應用案例

金屬材料分析

臺式SEM掃描電鏡

花粉微觀形態(tài)

臺式SEM掃描電鏡

部分技術(shù)指標

型號

CEM3000A(大樣品倉型)

電子槍

燈絲

鎢燈絲

分辨率

優(yōu)于4nm(SE),優(yōu)于8nm(BSE)  @20kV

加速電壓

1 ~ 20kV

放大倍數(shù)

電子圖:40 ~ 200,000×(可選配大圖拼接)

探測器

二次電子

標配

背散射電子

標配(四象限高分辨探頭)

能譜儀

選配

自動化軟件

標配:自動合軸、自動聚焦、自動消像散、一鍵圖像增強

選配:顆粒度統(tǒng)計、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建

真空系統(tǒng)

真空度

高真空:優(yōu)于9×10-3Pa

低真空:5 ~ 100 Pa(選配)

抽真空時間

低真空模式 < 1.5min

高真空模式 < 3min

樣品臺

自動軸

XYT

手動軸

RZ

行程范圍

X: 50mm

Y: 50mm

R: 0°~360°(手動旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn))

T: -22.5°~ +22.5°

Z: 45mm


樣品尺寸

70mm×70mm(水平)

45mm(高度)

倉內(nèi)相機

導航相機

標配高分辨彩色相機

側(cè)視相機

標配高分辨紅外相機

操作系統(tǒng)

圖片尺寸

Windows10 (64bit)

640×480

1280×960

2560×1920

5120×3840

10240×7680

懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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