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    鈣鈦礦鍍膜機
    產品簡介:

    鈣鈦礦鍍膜機主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。

    產品型號:

    更新時間:2025-02-17

    廠商性質:生產廠家

    訪問量:1710

    服務熱線

    0755-26959531

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    產品介紹

    鈣鈦礦鍍膜機主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。

    功能特點
    • 樣品位于真空室上方,蒸發源位于真空室下方,向上蒸發鍍膜,且蒸發源帶有擋板裝置。

    • 設有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,MAX烘烤加熱溫度為180℃。

    • 設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。

    技術參數
    鍍膜室● 不銹鋼材料,采用方形前后開門結構,內帶有防污板,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm
    真空排氣系統● 采用分子泵+機械泵系統
    真空度● 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa
    系統漏率● ≤1×10-7Pa
    蒸發源● 安裝在真空室的下底上;有機蒸發源4個、容積5ml,2臺蒸發電源,可測溫、控溫,加熱溫度400℃,功率0.5KW;無機蒸發源4套、容積5ml,2臺蒸發電源,加熱電流300A,功率3.2KW;蒸發源擋板采用自動磁力控制方式控制其開啟
    樣品架● 安裝在真空室的上蓋上,可放置?120mm的樣品、載玻片,旋轉速度0-30rpm
    加熱溫度● RT-180℃,測溫、控溫
    膜厚控制儀● 石英晶振膜厚控制儀,膜厚測量范圍0-999999?

     

    鈣鈦礦鍍膜機

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