OTF-1200X-RTP-II 近距離蒸發(fā)鍍膜（CSS）爐專門針對(duì)于用PVD或CSS法來制作薄膜。管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20ºC/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1ºC。儀器面板上帶有RS485接口，儀表內(nèi)配有控溫軟件，可將升溫程序和曲線導(dǎo)出。

● 兩個(gè)獨(dú)立的加熱裝置，兩個(gè)獨(dú)立控溫裝置及兩路浮子流量計(jì)均被精巧的設(shè)計(jì)在一個(gè)可移動(dòng)的鋁合金框架上。
● 腔體是由高純石英管制成
● 真空法蘭由不銹鋼制成

● 石英腔體尺寸：11"O.D×10.8"I.D×9"H mm
● 推薦加熱速率：≦10℃/s
● 最高工作溫度：≦600℃
● 總功率：8KW（8根紅外燈管，單根功率1KW）
● 電壓：AC220V，50Hz，單相（需20A的空氣開關(guān)）

● 由兩組紅外燈管作為加熱元件可實(shí)現(xiàn)快速加熱
● 兩個(gè)獨(dú)立的加熱裝置之間的距離可調(diào)0-70mm
● 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上
● 一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部
● 緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（Ф3"×T0.5 mm ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻
● 可將AlN陶瓷片更換為石墨片（請(qǐng)點(diǎn)擊下圖3選購(gòu)）
● 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來盛裝蒸發(fā)料
● 如需要更換紅外燈管，請(qǐng)點(diǎn)擊下圖4選購(gòu)
   

● 真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作
● 頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口
● 底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口
● 法蘭是通過兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過機(jī)械泵（標(biāo)配不含機(jī)械泵）抽真空度可達(dá)10-2 torr，頂部法蘭可手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)來進(jìn)行加載/卸載襯底和蒸發(fā)料。
● 一個(gè)防腐型數(shù)顯式真空表安裝在法蘭頂部，可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度。
 

● 兩個(gè)數(shù)顯式溫控表都可設(shè)置30段控溫程序
● 每個(gè)溫控表都具有PID調(diào)節(jié)功能，保護(hù)加熱器不受過熱影響同時(shí)具有報(bào)警功能，避免過熱使熱電偶損壞
● 該設(shè)備可與計(jì)算機(jī)相連接，可選購(gòu)控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中。
 

每個(gè)加熱器最高溫度:≦600℃

兩個(gè)K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上

水冷機(jī)

850(L)×745(W)×1615(H) mm

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