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PLR3000數(shù)控機(jī)床多軸聯(lián)動(dòng)位置反饋光纖激光尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，具有更高的穩(wěn)定性，安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。

中圖儀器PLR3000系列0.02ppm光纖激光干涉尺解決測量精度不足、穩(wěn)定性差、安裝受限、多軸測量難等難題，以突破性激光干涉技術(shù)，一站式解決高要求場景下的位置檢測難題，為超精密加工、微電子制造、航空航天等領(lǐng)域打造“精準(zhǔn)+高效+靈活”的測量體驗(yàn)。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，PLR3000高精確柵距光纖激光尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。

相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵，中圖儀器0.2ppm線性測量精度激光干涉尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率，同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì)，保證了更高的穩(wěn)定性，具有安裝快捷，易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)。

PLR3000高精度激光干涉尺產(chǎn)品分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。

PLR3000納米級高精度激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm，線性精度高達(dá)0.2ppm，為復(fù)雜工業(yè)場景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。