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光學(xué)輪廓儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)。可以用于測試各類表面。比如透明的玻璃表面，加上增透膜，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的光學(xué)三維表面形貌儀價格實惠，提供二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數(shù)據(jù)輸出、數(shù)據(jù)自動動態(tài)存儲、自定義數(shù)據(jù)顯示格式等功能。

中圖三維光學(xué)表面輪廓儀品牌采用白光軸向色差原理，利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)制成的SuperViewW1是一種用于對樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維檢測的精密儀器，它的特點(diǎn)是可以達(dá)到納米級的檢測精度。測量范圍從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，可以快速獲取數(shù)據(jù)進(jìn)行檢測，主要用于成品質(zhì)量的管理，確保良品合格率。

SuperViewW1光學(xué)形貌測量儀可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

SuperView W1光學(xué)輪廓儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。