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?中圖儀器3d光學表面輪廓儀檢測儀能夠以優于納米級的分辨率，非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器。主要用于表面形貌紋理，微觀結構分析。

中圖儀器SuperViewW1非接觸光學表面3d輪廓儀由照明光源系統，光學成像系統，垂直掃描系統以及數據處理系統構成。其重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統的配合下，分辨率可達0.1nm。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀一體化操作軟件，測量與分析同界面操作，預先配置好分析參數，軟件自動統計測量數據，實現快速批量測量。

中圖儀器3d光學輪廓儀設備可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。可廣泛應用于汽車零部件、半導體制造及封裝工藝檢測、微納材料及制造、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、高校科研院所等領域中。

中圖儀器3D粗糙度輪廓儀支持拼接功能，將測量的每一個小區域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um。

SuperViewW1 玻璃表面粗糙度測量儀數秒內即可獲得平面和曲面表面上測量所有常見的粗糙度參數。其載物臺XY行程為140*110mm（可擴展），Z向測量范圍可達10mm，在測量大尺寸的樣品時，可以選擇拼接測量（拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達0.1um）。