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PLR3000納米級高精度激光干涉尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

在大尺寸精密測量領域，GTS點坐標激光跟蹤測量儀具有測量范圍大、精度高、功能多、可現場測量等優點，取代了大型固定式三坐標測量機、經緯儀、全站儀等許多傳統測量設備，在設備校準、部件檢測、工裝制造與調試、集成裝配和逆向工程等應用領域顯示出高測量精度和效率，激光跟蹤儀已成為大尺寸精密測量的主要手段.

PLR3000系列0.2ppm激光干涉尺測量儀是新一代高精度位置檢測設備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術、航空航天等高要求領域設計。其突破性技術融合高穩定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

GTS系列六自由度調姿定位激光跟蹤儀已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。

PLR3000多自由度光纖激光尺分辨率可達10nm，線性精度高達0.2ppm，為復雜工業場景提供精準、可靠的位置反饋與控制。在微電子、微機械、微光學等現代超精密加工制造、光刻技術以及航空航天等高科技領域廣泛應用。

中圖儀器激光跟蹤儀產品已經發展出三自由度激光跟蹤儀和六自由度激光跟蹤儀家族系列，可以和多種形式的合作目標測頭配合使用。