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SuperViewW1輪廓粗糙度光學(xué)測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

中圖儀器二維輪廓測(cè)量?jī)x集成表面粗糙度和輪廓測(cè)量的測(cè)量功能，它采用超高精度衍射光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)、超高直線度研磨級(jí)摩擦導(dǎo)軌、高性能伺服驅(qū)動(dòng)電機(jī)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)工件表面粗糙度和輪廓進(jìn)行高精度測(cè)量和分析。

SuperViewW1輪廓度光學(xué)測(cè)量?jī)x是以白光干涉技術(shù)為原理，能以亞納米級(jí)精度測(cè)量從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SJ5780接觸式輪廓測(cè)量?jī)x測(cè)量時(shí)測(cè)針在工件表面做仿形運(yùn)動(dòng)掃描（主動(dòng)掃描），既保持了恒測(cè)力，又保證了大的陡坡通過(guò)能力，工件調(diào)平操作簡(jiǎn)單，同時(shí)避免了崩針、掛針等問(wèn)題。可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長(zhǎng)達(dá)數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，適合大范圍陡坡表面測(cè)量，大工件無(wú)需翻轉(zhuǎn)、

中圖儀器3D輪廓光學(xué)測(cè)量?jī)x測(cè)量大尺寸樣品時(shí)支持拼接功能，將測(cè)量的每一個(gè)小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺(tái)橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

在同等系統(tǒng)放大倍率下，以白光干涉技術(shù)為原理的SuperViewW1三維光學(xué)輪廓儀的檢測(cè)精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，在一些納米級(jí)和亞納米級(jí)超精密加工領(lǐng)域提供高精度檢測(cè)功能。