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    當前位置:首頁產品中心鈣鈦礦太陽能電池制備MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統

    原子層沉積系統
    產品簡介:

    原子層沉積系統


    深圳市科晶智達科技有限公司2001年成立于深圳,是一家聚焦服務于高校、研究院所、企業研發部門的國家技術企業,長期致力于打造安全、高效、智能的實驗研發一站式服務平臺,為科學研究與產業孵化賦能。
    深圳科晶與美國MTI、合肥科晶、沈陽科晶同屬MTI-科晶聯盟,目前已經搭建輻射的服務網絡,精心為科學家們的實驗室提供交鑰匙工程解決方案。

    產品型號:MSK-PSE-ALD1010

    更新時間:2025-02-18

    廠商性質:生產廠家

    訪問量:507

    服務熱線

    0755-26959531

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    產品介紹

    MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統


     功能特點


    • 外熱式反應腔體,加熱結構在真空室外,反應腔室維護保養無需拆卸腔室加熱器或樣品臺加熱器;

    • 配有可拆卸片托,支持100mm*100mm方片及以下尺寸的樣品;

    • 3路前驅體源系統(包括2路金屬源和1路水源);

    • 高性能真空系統和殘余前驅體源處理熱阱;

    • 自動控制沉積系統和工藝壓力實時檢測顯示;

    • 可置于手套箱底部與手套箱對接;

    • 可視化的操作界面,實時顯示系統各部分運行狀態,可方便的調節溫度、流量、脈沖時間等參數,編輯并保存配方參數;

    • 多用戶權限分配,軟硬件互鎖,異常報警、緊急停機等功能確保安全性;

    • 沉積模式可設為連續模式或停流模式;

    • 外置移動支架顯示器操作。


    MSK-PSE-ALD1010原子層沉積系統

      技術參數
    電源三相五線制AC380V±10%,頻率50Hz/60Hz,功率約12KW
    反應腔體腔室外熱式單腔腔室
    樣品尺寸最大100mm*100mm方片及以下尺寸
    反應溫度最高150℃
    前驅體源系統金屬源2路標準加熱前驅體源
    配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動隔膜閥和50mL不銹鋼源瓶
    源瓶及管路加熱溫度室溫至200℃
    水源1路水源
    配置Swagelok高溫快速ALD閥(響應時間<10ms)、手動球閥和50mL不銹鋼源瓶
    載氣系統2路載氣系統
    全套管路+VCR密封,前驅體源管路具有在線清洗功能
    真空系統極限真空小于5×10-3Torr
    真空漏率小于5×10-7Pa·L/s
    真空泵抽速40m3/h
    其他配置真空泵前級配置熱阱,加熱溫度最高600℃,控制精度±1℃,用于吸附、分解未反應的前驅體源
    真空計真空計前設有保護真空計的高效過濾網,沉積過程中可以實時監測顯示腔室壓力的變化
    主機PLC+4U工控機+顯示器


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