VTC-200P 防腐型旋轉涂層機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

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更新時間：2025-02-17

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VTC-200P 氣氛可控型旋轉涂敷機

是一款防腐型真空旋轉涂層機，機體和真空旋轉盤都采用PP材料制作，所以儀器具有非常強的抗酸抗堿性，

儀器中包括4個真空吸盤，針對于直徑為10mm到6英寸。控制盒與機體分開，以便于實驗操作和實驗室擺放。

儀器轉速為500-8000rpm，分為低速旋轉和高速旋轉兩個。同時產品標配中配有無油泵和20ml注液器。

性能指標和基本配置
結構	● 真空腔體和旋轉盤都采用聚丙烯（PP）材料制作，具有防腐功能 ● 數顯控制盒主機分開 ● 設備中包含一雙極旋片真空泵 ● 一個數顯真空計安裝在設備頂部，用于測試顯示真空度 ● 設備中包含一過濾器，安裝于真空泵與旋涂儀之間，防止廢液進入到真空泵中 ● 樣品固定方式可采用機械夾具固定或真空吸附固定
輸入電源	AC220V，50/60Hz，單相，最大功率1kw
腔體 &真空盤	● 腔體直徑: 150 mm ● PP（聚丙烯）防腐型真空盤，最大可放置樣品直徑為6英寸 ● 真空吸附樣品盤在惰性氣氛保護環境下使用 ● 機械卡具使用，針對與真空環境下注射液體
真空	● 配有一抽速為156L/min的雙極旋片真空泵 ● 最大真空度可達：900 m-torr（抽氣時間為10分鐘）
旋轉速度	● 數字控制面板，可設置6段運行段（不同旋轉時間和轉速） ● 最長旋轉時間 6*60s = 360s ● 旋轉速度：500 - 6000 RPM（可調）
注液器	配有一20ml的注液器，用于注入旋涂材料
可選	可選購加熱模塊，最高加熱溫度可達120℃
產品尺寸	● 旋涂儀：Φ250mm x 590mm (H) ● 控制單元：330mm(L) x 380mm(W) x 165mm (H)
質量認證	CE認證

保修期	一年保修，終身技術支持。點擊查看售后服務承諾書。