PCE-22 紫外臭氧清洗機(jī)是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤(rùn)濕性，清洗SEM &TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。

● 功率：最大350W
● AC 208~240V，單相 50/60Hz

● 去除分子級(jí)別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

● 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈
● 功率：55W
● 發(fā)出光的波長(zhǎng)：254 nm 和 185 nm
● 使用壽命：2500 小時(shí)（可更換）
● 照射區(qū)域：200 x 200 mm

● 不銹鋼殼體
● 抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣
● 樣品臺(tái)面積310 mm x 320 mm
● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
● 樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)）
● 樣品臺(tái)可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃
● 可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
● 設(shè)備運(yùn)行時(shí)間：0.01 秒- 99.9小時(shí)

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
● 請(qǐng)將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外
● 儀器中不包含橡膠管

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
● 溫度范圍：41-104華氏度;
● 最大相對(duì)濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線性降至50％相對(duì)濕度;
● 主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10％;
● 污染等級(jí)2; 臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量<45 ppb。

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。