PCE-44-LD 小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤(rùn)濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵

● AC 208~240V，單相 50/60Hz

● 可發(fā)出雙波長(zhǎng)的水銀燈

● 功率：55W

● 發(fā)出光的波長(zhǎng)：254nm 和185nm

● 使用壽命：2500 小時(shí)（可更換）

● 照射區(qū)域：100 x 100 mm

● 光照強(qiáng)度：4.6 mw/cm²

● 抽拉盒尺寸: 133 x 133x 25mm

● 支架尺寸: 100mmx 100mm x 19

● 抽屜底座與紫外燈的距離：27mm

● 樣品臺(tái)與紫外燈的距離：8mm

● 去除分子級(jí)別的污染物

● 紫外光固化粘合劑

● 紫外光催化

● 氧化PDMS

● 表面消毒

● 刻蝕

● 清洗MEMS 器件

● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以?xún)?nèi)

● 溫度范圍41-104華氏度

● 大相對(duì)濕度80％，大87華氏度，104華氏度線性降至50％相對(duì)濕度

● 主電源波動(dòng)不超過(guò)標(biāo)稱(chēng)電壓的10％

● 污染等級(jí)2; 臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量<45 ppb

● 240mm*200mm*152mm

4Kg

CE認(rèn)證

● 一年保修，終身技術(shù)支持。

特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

         2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

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