PCE-80 8.5英寸等離子清洗機(jī)是一款較大型的等離子清洗機(jī)，等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。此款設(shè)備主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等）。對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理此款設(shè)備是較為理想的實(shí)驗(yàn)幫手。

● 最大射頻功率: 100 W
● 真空泵功率: < 500W
● 總功率: < 600W
● 電源：AC 220V , 50Hz

● 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)
● 頻率: 13.56 MH
● 可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級(jí)為300W或500W的射頻電源，來(lái)進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn)

● 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
● 鋁制折疊式法蘭來(lái)進(jìn)行真空密封
● 法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口
● 此設(shè)備完、全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏

● 通過(guò)6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開(kāi)啟、清洗時(shí)間和氣體流量等.
● 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量

● 儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵
● 極限真空度為50mTorr（參考值，具體請(qǐng)點(diǎn)擊）
● 真空泵模塊

● 等離子腔體中可以通入多種氣體來(lái)產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）
● 不能使用易、燃、氣、體及腐蝕性氣體。

● 可選購(gòu) 2" - 6" 石英舟來(lái)盛放基片
● 可選購(gòu)2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
● 圖片（空氣系統(tǒng)模塊）

620 L ×600 W ×600 H, mm

● 請(qǐng)自行根據(jù)您的應(yīng)用測(cè)試最佳的等離子功率
● 對(duì)于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間
● 對(duì)于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間
● 可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源

CE認(rèn)證